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首頁(yè)-產(chǎn)品系統(tǒng)--納米壓印服務(wù)-GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備
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簡(jiǎn)要描述：GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備，自動(dòng)上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。
廠家實(shí)力
Manufacturer Strength
有效保修
Valid Warranty
質(zhì)量保障
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GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備，自動(dòng)上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。
GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備主要功能
●全自動(dòng)納米壓印光刻基底預(yù)處理
●機(jī)械手自動(dòng)上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能
●毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗
●旋涂勻膠，包含自動(dòng)供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能
●熱板烘烤、冷板冷卻功能
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